区二区在线观看-区二区综合色视频-区二三区-区久久久狼-区三区婷婷五月天-区午夜无码视频

咨詢熱線

13810961731

當前位置:首頁  >  產品展示  >    >  沉積系統  >  低真空化學氣相沉積設備

低真空化學氣相沉積設備

簡要描述:低真空化學氣相沉積設備是一種化學氣相沉積技術,利用熱能在基板表面上引發前驅氣體的反應。表面的反應是形成固化材料的原因。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-07-10
  • 訪  問  量:1093

詳細介紹

品牌其他品牌應用領域環保,化工,電子/電池

image.png

低真空化學氣相沉積設備(LPCVD)是一種化學氣相沉積技術,利用熱能在基板表面上引發前驅氣體的反應。表面的反應是形成固化材料的原因。低真空用於減少氣相反應,還可以提高整個基板的均勻性。除此之外,該過程取決於溫度控制,過程溫度越高,維持性越好。與大氣壓下的傳統CVD製程相比,LPCVD的優勢在於:每批製程可裝載更多的晶圓(每批100-200個晶圓)、晶圓內的厚度均勻性得到了改善(<±3%),並且降低生產成本。SYSKEY的系統可以精準的控制製程氣體與監控其數據(壓力、載臺溫度),並提供高品質的薄膜。

image.png


低真空化學氣相沉積設備參數

應用領域腔體
  • 碳納米管和石墨烯的製程。

  • SiOx、SiNx、a-Si、DLC和其他薄膜

    製程。

  • 熱退火。

  • 擴散製程。

  • 氧化製程。

  • 加熱爐配置:水平或垂直,結合

    傳送機構。



配置和優點選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑可達8寸

    晶圓。

  • 單載片或多載片。

  • 優異的薄膜均勻度小於±5%。

  • 精準流量控制器,氣體分佈高度均勻,最多可容納10條氣體管線。

  • 穩定的溫度控制,可將載盤加熱至1700°C。

  • 可以與傳送腔(單載臺或多載臺)整

    合在一起。




產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
主站蜘蛛池模板: 精品国产电影久久九九 | 日韩亚洲欧美中文三级 | 国产自在自线在线直播 | 亚洲国产制服动漫另类 | 精品国产aⅴ无码一区二区蜜桃 | 中亚洲AV网 | 91成人精品在线播放 | 欧美特黄a级 | 精品国产一区二区三区四区精华 | 国产在线无码观看 | 蜜桃av一区二区三区 | 97人人模人人爽人人 | 97精品国产91久久久久久久 | 91性高潮麻豆 | 亚洲AV三级在线观看 | 人妻少妇无码视频免费看 | 欧美激情办 | 91久久精品都在这 | 无码视频在线播放网站导航 | 91福利国产午夜亚洲精品 | 国产欧美日韩一区 | 欧美性爱视频观看 | 国产三级无码视频在线观看 | 91国内福利 | 丰满老妇高潮一级A片 | 福利在线一区 | 中文字幕在线免费观看 | 亚洲AV永久无码精品无码蜜桃 | 在线看电影的好网站 | 国产精品亚洲免费 | 久久成人大片 | 亚洲无码一区二区在线 | 精品三区中文字幕 | 国产无码在线影院 | 国内成人A片 | 国产理论片 | 国产精品另类激情免费 | 国产午夜羞羞视频 | 午夜三a福利扫描 | 国产在线精品亚洲二线 | 国产毛多水多高潮高清 |